Датчики на основі штрихових шкал
Датчики лінійних переміщень, що виконані на основі штрихових шкал, здійснюють фотоелектричним методом масштабне перетворення лінійних переміщень шкал в електричний сигнал [28]. На один із елементів масштабного перетворювача закріплюється вимірювальна решітка, а на другий — індикаторна решітка. При взаємному переміщенні решіток модулюється світловий потік джерела випромінювання ф0 і результат модуляції сприймається фотоприймальним пристроєм, розміщеним за решітками. При цьому виробляється сигнал фмро6 пропорційний зміщенню Ах решіток одна відносно другої, або однієї решітки відносно фотоприймального пристрою жорстко встановленого на одній із частин (наприклад, нерухомої) елементів конструкції, який визначається за формулою
Фн, роб=кФ> (3.51)
де: К — коефіцієнт перетворення;
ф — потік, що проходить через решітки в їх погодженому положенні.
В залежності від параметрів вхідної діафрагми фотоприймального пристрою (коло, щілина, квадрат та інше), в залежності від співвідношення лінійних розмірів штрихів і діафрагми, значення k описується різними функціями, які підкоряються гармонічному закону. Із отриманого сигналу формуються лічильні імпульси, ціна яких однозначно відповідає лінійним переміщенням. Виконавши складання цих імпульсів легко визначити лінійне переміщення частин датчика, тобто елементів конструкції на яких закріплені рухома і нерухома частини датчика.
Рис. 3.43. Штриховий датчик, що працює на пропускання світлових потоків |
Більшість штрихових датчиків лінійних переміщень працює на пропускання світлових потоків [100]. Наприклад, датчик фірми HEIDENHAIN, що є лідером в світовій практиці розробки таких датчиків, має (рис. 3.43) джерело випромінювання 1, оптичну схему 2, розміщені разом з фотоприймачами 4 і фотоприймачем нульового сигналу 5 на частині Б, і лінійку 3, що постачається штрихами А, розміщеній на частині конструкції В.
Вимірювання лінійних переміщень частини конструкції Б відносно частини конструкції В здійснюється шляхом аналізу синусоїдальних сигналів фотоприймальних пристроїв. Застосування 4-х фотоприймачів, зміщених по фазі один відносно другого на величину d/4, де d — період решітки, дозволяє підвищити точність вимірювання лінійних переміщень до 7 мкм при аналізі штрихів з d = 20 мкм. Інформація видається споживачу у вигляді послідовності інформативних імпульсів ціна кожного із яких дорівнює 7 мкм.
Другим типом таких датчиків є датчик, що працює на відбиття [99, 135]. Датчик лінійних переміщень (рис. 3.44) має стальну кодовану лінійку 7, закріплену нерухомо на деякій основі, встановленій на одному із елементів конструкції, а на другому елементі конструкції закріплюється скануюча головка 2. Скануюча головка і лінійка переміщуються одна відносно другої на величину х, У лінійки є відбиваючі елементи А і поглинаючі Б. Ці елементи, як і при виготовленні лінійок, що працюють на пропускання, виготовляються методом травлення. Скануюча головка має скляну діафрагму 3 з чотирма щілинами 67 , 62, ВЗ, В4 . Джерело випромінювання 4 і конденсор 5 формують світловий потік, який скляною діафрагмою 3 ділиться на 4 однакових потоки ф1, ф2, ф3, ф4. Потоки відбившись від відбиваючих елементів А направляються на оптичні системи 6 і потім на фотоприймачі 7. Сигнали від фотоприймачів іФП1, іФП2, іФПЗ, іФП4 направляються в блок обробки інформації 8. Мається також нульова мітка (маркер), що задає початок відліку. При переміщенні лінійки відносно скануючої головки світлові потоки фі модулюються по інтенсивності, що дозволяє після обробки цієї інформації блоком 8 визначити величину взаємного переміщення елементів конструкції. Інформація видається в цифровому коді.
Зупинимось більш детально на схемі формування сигналів фотоприймачами. Позначимо (рис. 3.45а) період вимірювальної лінійки через d, тобто відстань від початку і — го штриха до початку і + 1 штриха. Розміри відбиваючих А і поглинаючих Б ділянок виконують рівномірно, а щілини діафрагми 3 — нерівномірно: щілина 62 зміщена відносно щілини В1 на 1,5 d; щілина 63 зміщена відносно щілини В1 на 2,25 d; щілина В4 зміщена відносно щілини В1 на 3,75 d.
Рис. 3.45. До формування сигналів фотоприймачами |
Таким чином, якщо щілина В1 суміщена з поглинаючим і — тим елементом Б лінійки 1, то щілина В2 буде суміщена з відбиваючим елементом А, а щілина В3 наполовину закриє (і+ 2) штрих. В цей час щілина В4 також наполовину, але в другій фазі закриє (і + 4) штрих лінійки. В результаті світловий потік ф1 буде дорівнювати нулю, ф2 буде дорівнювати фтах, ф3 буде дорівнювати 0,5фтах, ф4 буде дорівнювати також 0,5фтах, але протилежний по фазі. Переміщення x(t) викликає модуляцію світлових потоків по синусоїдальному закону, тобто сигнали іфп будуть також промодульовані по цьому закону з частотою модуляції, що дорівнює періоду d. Розміщення щілин таке, що сигнали іфп будуть зсунуті один відносно другого по фазі на 1 /4 d (рис. 3.45 б).
Для формування коду (рис. 3.46) в склад блоку обробки інформації входять фотоприймачі (фп)1,2,3,4, двотактні схеми 5,6, формувачі імпульсів 7,8, інвертори 9,
10, одновібратори 11, 12, 13, 14 і схеми збігання 15, 16. Сигнали іФП1, іФП2, іФПЗ, іФП4 фотоприймачів попарно з’єднані в двотактних схемах 5 і 6. Двотактні схеми в свою чергу формують сигнали U5 і U6, при цьому сигнали зсунуті по фазі на кут 90°. Схеми формувачів імпульсів 7 і 8, інверторів 9 і 10 перетворюють ці сигнали в прямокутні протифазні імпульси U7, U8, Ug, U10, які поступають на відповідні входи одновібраторів. Одновібра — тори запускаються на позитивних фронтах прямокутних імпульсів. Вихідні сигнали одновібраторів UgU)l1 + Ugux4 подаються на схеми збігання 15 і 16. Комбінації сигналів створюють три виходи схеми обробки інформації. Таким чином, в залежності від необхідної точності вимірювання переміщень можна отримати один, два або чотири лічильних імпульси на один шаг оптичної решітки. Два зсунутих на 90° синусоїдальних сигнали U^x) і U2(x) дають можливість застосувати електронні логічні інтерполятори з ціллю підвищити точність і перетворення лінійного переміщення х безпосередньо в двійковий код.
Рис. 3.46. Схема формування коду |