ЛАЗЕРНІ ІНТЕРФЕРОМЕТРИ
До окремого напряму побудови лазерних вимірювальних систем можна віднести лазерні інтерферометри. Лазерна інтерферометрія — ефективний напрям застосування лазерів в геодезії з метою отримання інтерференційної картини для точних вимірювань відстаней і кутових вимірювань відстаней і кутових вимірювань в діапазоні 360° [108].
На прикладі схеми (рис. 4.49) дамо, не вдаючись до формул, пояснення принципу дії лазерного інтерферометра для визначення відстаней або для контролю переміщень об’єкту. Промінь, що виходить із гелій-неонового лазера 1, напівпрозорим дзеркалом 2 розщеплюється на два промені — опорний А і вимірювальний В. Опорний промінь проходить строго фіксований шлях — від напівпрозорого дзеркала 2 до нерухомо закріпленого повністю відбиваючого дзеркала 3 і після відбиття потрапляє на фотоприймач 5. Вимірювальний промінь проходить на відбивач 4, закріплений на об’єкті, відстань до якого
(або зміну відстаней якого) необхідно виміряти, а потім повертається і потрапляє в фотоприймач. Таким чином, обидва промені в кінцевому рахунку зустрічаються і інтерфериру — ють один з другим в фотоприймачі.
Рис, 4.49. Схема лазерного інтерферометра для вимірювання відстаней
Реєструєма фотоприймачем інтенсивність світла залежить від різниці фаз променів, тобто від різниці AL шляхів LB і L0. При зміні AL на X/ 2 (Л — довжина хвилі випромінювання) інтенсивність світла в фотоприймачі змінюється від максимуму до мінімуму. Іншими словами, в момент часу коли обидва промені зустрінуться в фотоприймачі в однаковій фазі буде зареєстрований максимум інтенсивності світла. Коли шлях відбивача 4 зміниться на половину довжини хвилі випромінювання, інтерференція двох променів в фотоприймачі буде проходити вже не в фазі, а в протифазі — фотоприймач зареєструє темряву Нехай, при переміщенні відбивача 4 максимальна і мінімальна інтенсивність світла в фотоприймачі змінилась N разів. Це значить, що відстань до об’єкта змінилась на величину XN / 2. Число N підраховується електронним пристроєм 6.
Максимальна дальність дії лазерних інтерферометрів визначається довжиною когерентності лазерного випромінювання в атмосфері, яка складає для значної більшості лазерів величину порядку сотень метрів. Проте необхідність переміщення відбивача уздовж всієї траси потребує спорудження точних направляючих на місцевості, що технічно є складним і дорогим. Тому лазерні інтерферометри, за виключенням спеціальних випадків (прецизійна робота в закритих приміщеннях), використовуються для вимірювання відносно невеликих переміщень, а також в режимі стаціонарного прецизійного спостереження за зміною відстаней, коли відбивач жорстко закріплений на досліджуваному об’єкті.
Приведена схема лазерного інтерферометра дозволяє визначати відстань або вести контроль зміни відстані з точністю до одиниць мікронів і може застосовуватись для визначення осідань і інших точних переміщень об’єктів. Точність лазерної інтерферометри визначається виразом [159]:
(4.27)
де: —— відносна нестабільність частоти випромінювання;
v
— » т. — похибка визначення показника заломлення повітря.
Якщо підрахування смуг в інтерферометрі проводиться з точністю до цілого числа, то додатково виявиться похибка дискретності підрахунку, граничне значення якої дорівнює половині довжини хвилі світла.
Для вимірювання кутів в діапазоні 360° розроблена лазерна система із т формуючих частин інтерферометрів [40], виконаних по диференціальній схемі і розміщених в площині вимірювання з кутовим інтервалом 360°/ т (рис. 4.50).
Рис. 4.50. Схема лазерного інтерферометра для прецизійної атестації кутів |
Плечі формуючих частин інтерферометрів розташовуються паралельно один одному, а кінцеві відбивачі жорстко закріплені на контролюємому об’єкті симетрично вісі обертання.
Система має ротор 1, статор 2 , кутові відбивачі 3 , що закріплені по кругу в площині перпендикулярній оптичній осі з кутовим інтервалом 360° /(т -1) і виконані у вигляді двох скріплених вершинами трьохгранних кутів, т плоских дзеркал 4 і світлороздільних елементів 5 , встановлених на статорі, а також реєстраційний блок у вигляді фотоприймачів 6. Освітлювальна система має лазер 7 з високою стабільністю частоти, телескопічну систему 8, світлороздільну конусну 9-ти гранну піраміду 9 і відбиваючі призми ^0. На роторі, що жорстко скріплюється з об’єктом вимірювання, нерухомо установлюють т-1 кінцевих відбивачів з кутовим інтервалом 360° /(т-1).
Нерухомі елементи інтерферометрів і діаметрально розміщені кінцеві відбивачі почергово утворюють робочі плечі по ноніусній схемі. При цьому для реєстрації смуг в площинах аналізу інтерферометрів встановлені m фотоприймачів.
Світлові промені від лазера 7, пройшовши телескопічну систему 8 і відбивач, попадають на світлороздільну піраміду 9, після якої радіально направляються до відповідних відбиваючих призм 70. Після призми 10 в кожному із інтерферометрів світлові пучки попадають на освітлювальний елемент 5 і діляться на два; перший, пройшовши світлороз — дільний елемент, попадає на один із кутових відбивачів 3; другий, відбившись від нього і дзеркала 4 — на другий, діаметрально протилежний. Відбившись від кутових відбивачів і пройшовши світлороздільний елемент два пучки при обертанні ротора утворюють нестаціонарну інтерференційну картину. Інтерференційні смуги реєструються фотоприймачами 6, з яких сигнали поступають в електронний блок обробки інформації (на рис. 4.50 не показаний).
В даній системі кількість формуючих частин Інтерферометрів т = 9, а кількість кутових відбивачів п = 8, що приводить до поділу кругів ротора і статора на ряд однакових секторів з кутами /3 = 40°, а = 45°. відповідно. Всього при обертанні ротора на 360°
утворюється 72 інтерферометри. При повороті ротора діаметрально протилежні кутові відбивачі почергово замикають робочі плечі інтерферометрів по ноніусній схемі, що забезпечує вимірювання кутів одним інтерферометром в діапазоні кутів ± 2°,5 . Після відпрацювання одного із інтерферометрів, по сигналу автоколіматора 72, електронний блок відключає доступ від його сигналів і підключає другий, що має кутову різницю в вихідному положенні з відповідною парою кутових відбивачів рівну 5°. Відбувається перехват системою управління (СУ) відліка з і — того діапазону на і + 1. Виміряний кут одним інтерферометром визначається як відношення зміни різниці ходу, що визначається поворотом ротора, до довжини бази. При цьому контролююча деталь, наприклад, многогранна призма (МП) 11 встановлюється в робоче положення таким чином, що задає кутами між нормалями до її дзеркальних граней кордони робочих діапазонів інтерферометрів, тобто кордони сполучень. В цьому випадку СУ вирішує задачу грубого відліку номера діапазону по МП за допомогою автоколіматора 72.
Робота системи проводиться в два етапи. На першому етапі проводять почергове підрахування кількості смуг кожним інтерферометром до повного замикання круга і визначають середнє значення суми відстаней між вершинами кутових відбивачів. При цьому ав — токоліматором вирішують задачу точного відліку нуля для визначення ціни поділки лімба по якійсь одній із граней. На другому етапі виконують вимірювання необхідного кута повороту об’єкта, що зв’язаний з ротором. Вимірювання полягає в підрахуванні смуг в необхідному кутовому діапазоні і в визначенні його значення в кутових величинах через величину середньої відстані, що отримана на першому етапі.
Для підвищення точності вимірювання на кожному із етапів враховують поправки із — за криволінійності переміщення кутових відбивачів, що функціонально залежать від кута повороту контролюючого об’єкту. Введення поправок за невідповідність поточного кута сі — нусу кута повороту виконується СУ.
Для детального аналізу роботи інтерферометра розглянемо перший варіант, коли блок ротора виконаний таким чином, що відстані між вершинами діаметрально протилежних кутових відбивачів з високим ступенем точності рівні одна одній. Це дозволяє вимірювати кути повороту ротора без вимірювання абсолютних значень довжини хвилі випромінювання і відстані між вершинами кутових відбивачів Д. Для визначення відношення Д/Я виконується поворот ротора на кут, що дорівнює 360°d, де d — ціле число. При кожному оберті ротора послідовно вимірюються значення різниці ходу:
^111 І-22’ L-jk ’
де: j — номер формуючої частини інтерферометра;
к — номер робочої пари кутових відбивачів.
Розрахункова формула для визначення кута повороту може бути визначена із рис. 4.51, де позначено:
Iv 12 — лінійне зміщення вершини кутового відбивача в напрямі падаючого на інтерферометр випромінювання;
аи а2 — положення кутових відбивачів до і після повороту (відраховується від напряму перпендикулярного до напряму падаючого випромінювання проти годинникової стрілки).
= 2arcsin ^ (4.28)
4 Д cos а
де: Д = Я*+Я2;
L = 2(1, +І2);
а = -2(а1 +а2).
В загальному випадку для кута ер будемо мати
М д/
<р = 22^ arcsin ‘ м 4-е os А,
де: М — ціле число;
Л/, — число інтерференційних смуг, що зареєстровано в діапазоні вимірювання одного фотоприймача. Середня відстань між вершинами діаметрально протилежних кутових відбивачів, що визначається лінійною величиною і кількістю довжин смуг, дорівнює відповідно
1 rza I
Д = —У__________ Ь_______ ;
72d *rd 4 sin <p, / 2 cos ai ’
(4.30)
Д _ 1 4? Nj
A 72d —’ 4 sin <Pj / 2 cos a-, ’
де a — число повних обертів ротора при вимірюванні (кут повороту ротора 360° ■ d).
В другому варіанті, коли відстані між вершинами діаметрально протилежних кутових відбивачів не рівні одна одній, принцип роботи полягає в слідуючому. При повороті ротора виконують підрахування смуг першим інтерферометром при його роботі з парою кутових відбивачів, базова відстань між вершинами яких дорівнює Д, в діапазоні, що визначається нормалями до граней відповідного кута МП. При збіганні нормалі до відбиваючої поверхні з візирною віссю автоколіматора останній виробляє управляючий сигнал на відключення підрахунку смуг першим інтерферометром і включення підрахунку смуг другим інтерферометром.
При повороті ротора проти годинникової стрілки кожним інтерферометром почергово будуть вимірюватися різниці ходу:
І 1 І 2 І З І 4 І 5 і 6 і 7 і 8 ,9 110 і і,72
Чі ’ -22 ’ —33’-44 ’ —51’ -62’ -73 ’ и84 ’ U91 ’ U12> "•> l~jk’ "•> L94 > (4.0 I )
де і — номер кута МП, в межах якого визначалась різниця ходу. Після цього МП послідовно повертають на кути 5° , 10° і 15°. Визначають різниці ходу:
І2 |
і 3 |
і 4 |
/5 |
і б |
і 7 |
і 8 і 9 |
і 10 |
,11 |
• і |
11 |
(4.32) |
L3 Нї ‘ |
і 4 *-22’ |
і 5 ‘-33’ |
1 б —44 > |
і 7 -51’ |
і 8 —62’ |
і 9 ,10 —73 ’ L84 > |
111 -91’ |
L]l- |
Іі ■ • ’ —jk ’ ■ |
і2 —94 ’ |
(4.33) |
L4 Чі ’ |
L5 *-22» |
L 33> |
L7 *-44’ |
і 8 -51’ |
і 9 —62’ |
,10 ,11 -73 ’ —84 ’ |
112 -91’ |
• ■» —jk ’ — |
и —94- |
(4.34) |
із аналізу суми різниць ходу при чотирьох серіях вимірювань (4.31 )-ь (4.34) випливає, що кожна базова відстань між вершинами кутових відбивачів використана при вимірюваннях у всіх кутових діапазонах, що відповідає вимірюванні різниці ходу для кожної бази при її повороті на кут 360°. Таким чином, сума різниць ходу, отримана в чотирьох серіях вимірювання для кожної довжини бази, дорівнює алгебраїчній сумі при її повороті в діапазоні 360°. Довжина кожної бази визначається таким виразом:
1 72d Li:,
72d 4 sin ер., / 2 cos a ‘
При контролі кута повороту МП операції по вимірюванню різниці ходу повторюються, його значення визначають за формулою
Застосування сучасної оптичної технології, стандартних вимірювальних засобів дозволяє отримати середню квадратичну похибку одного виміру кута в межах 0,2” — 0,5" [40], що є перспективним при використанні розглянутої схеми в ділильних машинах, кутових компараторах, для атестації оптичних елементів, наприклад МП, тощо.