ГЕОДЕЗИЧЕСКИЕ ИНТЕРФЕРОМЕТРЫ ОПТИЧЕСКОГО ДИАПАЗОНА
Общий принцип интерференционного метода линейных измерений был изложен в § 6. В настоящее время интерференционный метод, осуществленный в оптическом диапазоне, явля
ется наиболее прецизионным из всех известных методов линейных измерений, и область его применения составляют работы, требующие очень высокой точности. Из таких работ геодезического назначения можно указать на следующие:
— работы при сооружении и эксплуатации ряда инженерных объектов (радиотелескопы, ускорители и т. п.), где требуется прецизионная установка отдельных элементов и контроль за их положением;
— работы, выполняемые с целью изучения деформаций земной коры (на геодинамических полигонах) или дрейфа ледников, требующие высокоточного слежения за малыми смещениями и сдвигами;
— работы по метрологическому обеспечению линейных измерений— создание высокоточных базисов, линейных компараторов и т. п. ‘
При этом используются различные варианты интерференционных измерений. Так, для создания высокоточных базисов применяется, как правило, относительный интерференционный метод, для прецизионной разметки элементов сооружений—абсолютный метод лазерной интерферометрии, для контроля за положением точек и их взаимным смещением—дифференциальные измерения абсолютным методом, т. е. измерения не самих расстояний, а их изменений.
Рассмотрим основные аспекты геодезических интерференционных измерений и применяемую аппаратуру.
Абсолютный метод (лазерная интерферометрия больших расстояний). Появление лазеров дало возможность осуществить абсолютные интерференционные измерения расстояний, исчисляющихся десятками метров и более. Предельное значение расстояния, как отмечалось в § 6, зависит от длины когерентности лазерного излучения. Для используемых в интерферометрах гелий-неоновых лазеров длина когерентности в обычных условиях ограничивается турбулентностью атмосферы и имеет порядок десятков и сотен метров. Современные промышленные лазерные интерферометры могут измерять расстояния до ~60 м.
Лазерный интерферометр представляет собой тот или иной вариант интерферометра Майкельсона, общая схема которого была приведена в § 6 (см. рис. 12). В практических конструкциях плоские зеркала, чувствительные к юстировке, обязательно заменяют уголковыми отражателями — трипель-приз — мами или, реже, зеркально-линзовыми отражателями. При этом также устраняется обратное влияние отраженного излучения на лазер — отраженные пучки не совпадают с падающими, а идут параллельно им (рис. 62) и, как видно из рис. 62, не попадают обратно в лазер, а проходят мимо него (лучи а и б) и могут быть также использованы полезным образом (например, направлены на другой приемник). Для увеличения допусков на наклоны и боковые смещения отражателя расши-
7 Заказ № 1936
Рис. 62. Интерферометр Майкельсона с уголковыми отражателями вместо плоских зеркал. , |
ряют диаметр исходного лазерного пучка в 4—8 раз при помощи небольшой телескопической системы (коллиматора), устанавливаемой между лазером и светоделителем.
В фокальной плоскости приемной оптической системы образуется интерференционная картина, вид которой зависит от степени параллельности осей падающих на приемник опорного и дистанционного пучков и от расходимости лучей в самих пучках в точке их встречи (от кривизны волновых фронтов).При достаточно строгом совмещении осей пучков наблюдается система чередующихся концентрических темных и светлых колец. Чем меньше угловая расходимость пучков, тем меньше число колец в поле зрения; при очень малой расходимости одно центральное пятно занимает все поле. Если же оси интерферирующих пучков не параллельны, то кольца превращаются в полосы. При непрерывном перемещении подвижного отражателя будет наблюдаться непрерывное смещение интерференционных полос. Выделив при помощи диафрагмы небольшой участок поля интерференции (в пределах одной полосы), можно наблюдать непрерывное периодическое изменение интенсивности на этом участке. Полный цикл изменения интенсивности совершается при изменении расстояния D на половину длины волны света. Процедура измерения расстояния сводится к перемещению отражателя вдоль всей измеряемой дистанции и счету числа N прошедших полЬс [22], после чего искомая длина вычисляется по формуле
. D=±-N = ^-N, (3.58)
где Ко — длина волны света в вакууме; п — фазовый показатель преломления воздуха на трассе.
Счет полос в интерферометрах производится автоматически. При падении света на фотоприемник на выходе последнего возникает электрический сигнал, который при равномерном движении отражателя изменяется по гармоническому закону, а при неравномерном — имеет вид непериодической последовательности импульсов, соответствующих максимумам интенсивности света. Сигнал с фотоприемника подается на электронную схему счета импульсов. Счет полос должен быть — реверсивным, т. е. учитывающим направление движения отражателя интерферометра. При реверсивном счете автоматически исключаются ошибки из-за ложных полос, обусловленных изменениями разности хода вследствие вибраций или колебаний показателя преломления воздуха.
Для осуществления реверсивного счета необходимо иметь два выходных сигнала, сдвинутых по фазе на 90°. Такие сигналы обычно получают использованием двух фотоприемников, установленных таким образом, что системы проходящих перед ними интерференционных полос сдвинуты относительно друг друга на 1/4 ширины полосы. Подсчитываемое число импульсов N автоматически умножается на половину длины волны излучения, и счетчик выдает непосредственно величину перемещения отражателя.
По такой схеме построены лазерные интерферометры первого поколения, в которых используется одночастотный стабилизированный лазер. Более совершенны интерферометры второго поколения — интерферометры гетеродинного типа с двухчастотным лазером, в которых измерения (счет импульсов) осуществляются на разностной частоте.
Двухчастотный гетеродинный интерферометр. Общий принцип построения схемы такого интерферометра описывался в § 6 (см. рис. 14). Здесь мы рассмотрим практически используемые варианты схемного решения. Общая схема интерферометра, более детальная, чем приводившаяся на рис. 14, изображена на рис. 63. Лазер 1 излучает две близкие оптических частоты vi и V2, отличающиеся на величину порядка нескольких мегагерц, причем излучения частот vi и V2 имеют круговые поляризации с противоположными направлениями вращения. Для этого обычно используется эффект Зеемана — расщепление частоты в магнитном поле. Магнитное поле создается соленоидом, в который помещают активный элемент лазера. Пройдя через соответствующим образом ориентированную четвертьволновую пластинку 2, свет обеих длин волн превращается в линейно-поляризованный с ортогональными направлениями поляризации. После расширения пучка коллиматором 3 часть его отражается полупрозрачной пластинкой 4 на опорный фотоприемник 10, а часть проходит на светоделитель 6У разделяющий падающий на него пучок на две части и направляющий их соответственно на неподвижный отражатель 5 и подвижный удаленный отражатель 8, После отражения от
Рис. 63. Общая схема двухчастотного гетеродинного интерферометра |
отражателей 5 и 8 пучки соединяются светоделителем 6 и поступают на сигнальный фотоприемник 12.
В соответствии с теоретическим обоснованием, изложенным в § 6, в описываемом интерферометре необходимо обеспечить такие условия, чтобы на поверхностях фотоприемников 10 и 12 происходила интерференция разночастотных колебаний vi и V2. Так как после пластинки Я/4 эти колебания линейно поляризованы во взаимно перпендикулярных плоскостях, то для получения интерференции необходимо привести их к одной плоскости поляризации. Обеспечение этого условия на опорном фотоприемнике 10 выполняется при помощи устанавливаемого перед ним анализатора 9, ориентированного так, что его ось пропускания составляет углы 45° с направлениями поляризации волн vi и V2 (при такой ориентации достигается равенство амплитуд пропускаемых анализатором составляющих).
Обеспечение необходимых условий интерференции на сигнальном фотоприемнике 12 может быть осуществлено двумя способами. В одном из них в качестве светоделителя 6 используется обычное полупрозрачное зеркало, и, следовательно, как на неподвижный отражатель 5, так и на подвижный отражатель 8 поступают колебания обеих частот vi и V2, в результате чего после соединения пучков светоделителем на приемник 12 будут поступать две пары колебаний частот vi и v2 с неизмененными поляризациями, как это показано на рис. 64, а. Из рис. 64, а видно, что в одной плоскости поляризации оказываются колебания одинаковых частот, которые и будут интерферировать, в то время как необходимо, чтобы интерферировали колебания разных частот. Чтобы получить нужный результат, в дистанционном пучке устанавливают четвертьволновую пла-
стинку 7 (см. рис. 63), вследствие чего плоскость поляризации дистанционного пучка, дважды прошедшего через нее (в прямом и обратном направлениях), поворачивается на 90° [23]. В этом случае (рис. 64, б) в одинаковой плоскости оказываются колебания различных частот. Введя анализатор 11 (см. рис. 63), можно выделить ту или другую пару составляющих различных частот и одинаковых поляризаций, пропуская ее на сигнальный фотоприемник 12.
Во втором способе в качестве светоделителя используется поляризационная призма (обычно объединенная с неподвижным уголковым отражателем в монолитный оптический блок, рис. 65). Призма осуществляет пространственное разделение пучков по их поляризации: луч одной поляризации проходит через диагональную поверхность, а луч ортогональной поляризации отражается от нее. Поэтому на неподвижный и подвижный отражатели направляются излучения разных частот; после отражения они соединяются призмой в один пучок, выходящий параллельно входному пучку в противоположном направлении. Содержащиеся В ВЫХОДНОМ пучке компоненты VI И V2 по-прежнему имеют ортогональные поляризации, и для обеспечения их интерференции необходимо перед подачей такого пучка на сигнальный фотоприемник пропустить его через ориентированный под углом 45° анализатор А (см. рис. 65), роль которого аналогична роли анализатора перед опорным фотоприемником.
В результате интерференции на выходах опорного и сигнального фотоприемников возникают сигналы разностной частоты /г= |vj — V21. Как было показано в § 6, разность фаз этих сигналов <р = <рп — ф1 пропорциональна измеряемой ди-
где Nj — число полос, проходящих за время движения отражателя перед опорным фотоприемником, a N2 — число полос, проходящих за то же время перед сигнальным фотоприемником. Из выходных сигналов фотоприемников формируются импульсы и подаются на счетчики / и // (см. рис. 63), подсчитывающие числа N і и N2. Далее осуществляется образование разности и умножение ее на половину длины волны, и результат выдается в виде расстояния.
Для лучшего уяснения работы гетеродинного интерферометра обратим внимание на следующее. В отличие от негетеродинного интерферометра, в котором счет полос возможен только при движении отражателя, так как при неподвижном отражателе нет перемещения полос перед фотоприемником, в гетеродинном интерферометре перемещение полос перед обоими фотоприемниками происходит и при неподвижном отражателе (нестационарная интерференция разночастотных колебаний), причем в этом случае скорость перемещения полос dNfdt перед опорным и сигнальным фотоприемниками одинакова и численно равна разностной частоте F=|vi—V21 (F полос в секунду). Поэтому счетчики в опорном и сигнальном каналах при неподвижном отражателе будут регистрировать одинаковое количество полос за любой интервал времени, т. е. Ni = N2. Если же отражатель движется, то в сигнальном канале возникает сдвиг частоты (так же как и в негетеродинном ин
терферометре при движении отражателя), и скорость перемещения полос перед сигнальным фотоприемником становится равной F±AF полос в секунду, где AF — величина доплеровского сдвига, равная 2 V/X (V — скорость движения отражателя), а знак перед AF зависит от направления движения. В этом случае величины N{ и N2 за один и тот же интервал времени At = t2—11 будут различны, а именно
лгі=ад)-ад)= ( J |
dNl dt = [ Fdt■ dt |
(3.62) |
f, |
иь J ft |
|
fa |
fa |
|
лг2=ад)-ад)= Г |
dt=~- Г (F±AF)dt, J |
(3.63) |
и Д* Л |
||
разность |
||
fa |
1 и — 1 f AQ dt, 2я ’ |
(3.64) |
N = Ni—N1 = j A Fdt |
т. е. разность показаний счетчиков в сигнальном и опорном каналах равна интегралу от доплеровского сдвига частоты, или, другими словами’ интерферометр осуществляет интегрирование доплеровского сдвига частоты за время измерения. Поскольку интеграл от круговой частоты есть фаза (2яЛ^), то регистрирующее устройство гетеродинного интерферометра иногда называют кумулятивным (т. е. накопительным, интегрирующим) фазометром.
В общем случае отражатель движется неравномерно со скоростью V=V(t), и доплеровский сдвиг будет AF(t)= 2V ^ .
К •
Подставляя его в (3.64) и учитывая, что при неравномерном движении D(t) = $V(t)dt, получим
N= [ AF (0 dt=j — f V (іt) dt = j-[D (t2)—D ft)] = , (3.65)
fi fi.
где D — пройденное расстояние. Отметим, что полученная величина не зависит от скорости движения отражателя, и поэтому непостоянство скорости не оказывает влияния на результат измерений интерферометром. Умножив .подсчитанное число N на Я/2, получим расстояние D.
Точность измерения расстояний лазерными интерферометрами. Так как при лазерной интерферометрии со счетом ‘полос определяется обычно только целое число полуволн света на расстоянии D, то последнее может быть измерено с точностью не более чем до половины длины волны, света. Эта потенциальная точность может быть реализована лишь при условии
безошибочности самой величины Х/2 в формуле D =—N,
чего, разумеется, не бывает в действительности. Если длина волны известна с ошибкой т[24], то это приводит к дополнительной ошибке в расстоянии, равной
. N
mD = т*. — ■
Таким образом, суммарная ошибка складывается из ошибки дискретности счета, равной Я/2, и ошибки, определяемой формулой (3.66) *.
Эта последняя ошибка, как легко показать, воспользовавшись соотношением X=Xo/n=c/vn, может быть в относительной мере представлена в виде
(3.67)
Таким образом, ошибка в расстоянии, обусловленная неточным знанием длины волны в воздухе, определяется относительными ошибками частоты и показателя преломления.
Относительная ошибка частоты mjv характеризуется стабильностью частоты. Нестабильность частоты является следствием многих причин, среди которых можно назвать изменения температуры и давления, конвекцию воздуха, вибрационные эффекты и пр. Все эти факторы вызывают микроизменения оптической длины резонатора лазера, что приводит к изменениям частоты излучения. Для стабилизации частоты применяют методы, основанные на непрерывной подстройке длины резонатора и уровня мощности излучения. Современные схемы стабилизации частоты позволяют относительно простыми методами достичь стабильности порядка 10—®, а применение более сложных методов позволяет получить достаточно долговременную (сотни секунд) стабильность порядка 10-10—10-п.
Для минимизации ошибки тп/п (или просто тп, так как для воздуха я^1) необходимо как можно точнее определять показатель преломления воздуха при интерференционных измерениях. Строго говоря, нам нужно знать среднеинтегральное значение показателя преломления вдоль всего оптического пути света. При небольших измеряемых расстояниях важна не столько проблема осреднения, сколько проблема точного определения показателя преломления в отдельной точке. В современных интерферометрах показатель преломления определя-
Интерферо метр |
Страна |
Максимальное измеряемое расстояние, м |
Точность измерений |
Тип схемы |
Тип лазера и стабильность частоты |
Метрилас М100-Е |
Фран ция |
30 |
0,3 мкм + + 10-7 о |
Негетеродинная |
He-Ne 1 мВт, одночастотный, 10-7 |
Хьюлетт — Паккард |
США |
60 |
5-10-7 D |
Гетеродинная с разностью частот 1,8 МГц |
He-Ne 120 мкВт, двухчастотный |
ДИП-2 |
СССР |
60 |
5-Ю-7 D |
Гетеродинная |
He-Ne 20 мкВт, двухчастотный, 10“7 |
ЛА 3002 |
ЧССР |
30 |
5-10-7 |
Гетеродинная |
He-Ne 0,2 мВт, одночастотный |
ипл-зок |
СССР |
30 |
1,5- 10-е D |
Негетеродинная |
He-Ne, одночастотный |
ется возможным регистрировать смещения до 0,01 полосы). Для этого применяются весьма чувствительные методы электронной регистрации интерференционной картины.
Для дифференциальных измерений, кроме интерферометра типа Майкельсона, часто используется интерферометр типа Фабри— Перо[25]. На рис. 66 приведена типичная схема такого интерферометра. Свет от лазера /, пройдя через полупрозрачное зеркало 2, направляется в систему из двух параллельных зеркал А и В, которая и является собственно интерферометром Фабри—Перо. Зеркало А полупрозрачное, а зеркало В — отражающее; оно жестко связано с отслеживаемым объектом. Часть падающего пучка отражается от зеркала А обратно (опорный пучок), а часть проходит к зеркалу В, отражается от него и частично выходит из зеркала Л, соединяясь с опорным пучком. (Многократные отражения между зеркалами А и В обеспечивают условия многолучевой интерференции.) Опорный и прошедший интерферометр пучки отводятся полупрозрачным зеркалом 2 на фотодетектор 3. Зеркало А обычно плоское, зеркало В — сферическое с радиусом кривизны, равным расстоянию АВ. Для устранения обратного влияния на лазер предусматривается оптическая развязка по поляризации (не показанная на рисунке), обеспечивающая гашение составляющей, проходящей от интерферометра к лазеру через полупрозрачную пластинку.
Малейшее смещение зеркала В, установленного на исследуемом объекте, приводит к соответствующему смещению интерференционных полос в плоскости приемника.
Особое внимание при дифференциальной интерферометрии уделяется стабилизации частоты излучения лазера и точности учета показателя преломления воздуха на пути света. При работе в открытой атмосфере главным препятствием к достижению необходимой высокой точности измерений являются флуктуации показателя преломления, приводящие к хаотической пульсации интерференционных полос. Для исключения влияния атмосферы лучшим средством является заключение дистанционного плеча интерферометра в вакуумированную трубу. При остаточном давлении порядка 10~5 мм рт. ст. отличие показателя преломления от единицы составит, как показывает расчет, всего 4-Ю-12, т. е. оптическая длина будет равна геомет-
рической даже при длине плеча 1000 м; различие будет составлять 40 А, т. е. меньше 0,01 К.
Интерферометры такого типа используются, например, для экспериментальных исследований деформаций земной коры с целью прогноза землетрясений и изучения различных сейсмических явлений. При этом, чем больше база (дистанционное плечо) интерферометра, тем большая чувствительность может быть получена. В случае применения вакуумированной трубы чувствительность практически ограничивается только стабильностью частоты излучения лазера, и при стабильности 10-10 составляет 0,1 мкм на базе 1 км.
Относительные интерференционные измерения. Рассмотрим теперь метод оптического умножения расстояний — так называемый относительный интерференционный метод, используемый для создания высокоточных базисов длиной в сотни метров и интерференционных компараторов, т. е. средств метрологического обеспечения геодезических линейных измерений.
Относительный метод, как указывалось в § 6, основан на идее оптического умножения точно известной длины в целое число раз, для реализации которой необходим источник некогерентного (белого) света. Появление интерференционной картины служит индикатором момента равенства оптических путей двух пучков, один из которых проходит пг раз эталонную длину, а другой — двойное измеряемое расстояние, т. е. индикатором момента, когда дистанция оказывается кратной эталонной длине. .
Для осуществления относительного метода используется интерференционная схема, предложенная в 1930 г. финским геодезистом Вяйсяля. Впоследствии неоднократно предлагались различные модификации этой схемы, но принцип действия интерферометра Вяйсяля остался неизменным. Этот принцип иллюстрируется рис. 67. Интерферометр состоит из осветителя О, трех зеркал А! ь М2, М3 и зрительной (приемной) трубы Т. Осветитель содержит источник белого света (обычно лампу накаливания) и коллиматор. Коллимированный пучок света направляется на зеркало М2, разделяющее его на два пучка (может использоваться как деление амплитуды, так и деление волнового фронта). Один пучок проходит к удаленному зеркалу Мз, отражается от него и попадает в зрительную трубу Т. Второй пучок отражается в опорное плечо интерферометра, образованное зеркалами Мі и М2, и после нескольких отражений от них также попадает в зрительную трубу Т.
Исходное расстояние между зеркалами Afi и М2 точно известно. Оно задается при помощи эталона длины — кварцевого жезла, помещаемого между зеркалами. Длина жезла предварительно измеряется в метрологической лаборатории абсолютным интерференционным методом.
Задача состоит в том, чтобы установить зеркало М3 в такое
Рис. 67. Общая схема интерферометра Вяйсяля |
положение, при котором оптические пути опорного и дистанционного пучков окажутся равными друг другу. Если do — расстояние между зеркалами М и М2, a D — между зеркалами М2 и Мз, то, как ясно из рис. 67, оптический путь света в дистанционном плече (путь от точки А до точки В через зеркало Мз) равен 2Dn/cos а, где п — средний показатель преломления воздуха в дистанционном плече, а оптический путь в опорном плече (путь от точки А до точки £ между зеркалами Mi и М2) — т • 2d0no/cos а, где т — число отражений света от зеркала Mi, «о — показатель преломления воздуха в опорном плече. Интерференционная картина, наблюдаемая в зрительную трубу Т, появляется тогда, когда оптические пути опорного и дистанционного плеч уравнены с точностью до длины когерентности белого света, т. е. до 2—3 мкм [26]. В этом случае
2Dn=m •2den0, (3.68)
откуда может быть вычислено расстояние D:
D = md0—[27]. (3.69)
П
Число m из-за небольшой мощности излучения и ограниченности размеров зеркал М и М2 обычно не превышает шести. Длина эталона ограничена размером кварцевого жезла и не превышает 1—1,2 м. Поэтому расстояние D составляет 6-8 м.
Такая длина еще недостаточно велика для использования ее в качестве метрологического базиса. Для ее увеличения производят следующий этап умножения, используя эту длину в качестве эталона. Теперь опорное плечо образуют между плоскостями М2 и Мз, а концевое зеркало устанавливают дальше по линии хх. Таких последовательных этапов умножения может быть несколько; с каждым следующим этапом кратность (число т) обычно уменьшают из-за возрастания сложности измерений. Наибольшая измеренная таким методом длина (к 1982 г.) составляет 864 м (базис в Нуммела, Финляндия) со следующими этапами умножения: 1 МХ6Х4ХЗХЗХ2Х2 = = 864 м.
Относительные интерференционные измерения — исключительно трудоемкая работа, сложная в организационном и техническом отношении и требующая большой и тщательной подготовки.. Поэтому такие измерения приобретают характер уникального эксперимента, и лишь несколько стран располагают интерференционными базисами длиной до 1 км. Значительно меньше усилий требуется для создания интерференционных компараторов — коротких базисов для компарирования инварных проволок, так как в этом случае достаточно двух этапов умножения (например, для постройки базиса длиной 24 м).
При реализации относительных интерференционных измерений все элементы интерферометра устанавливаются на фундаментальных опорах — бетонных столбах или тумбах, закладка которых производится после предварительной разбивки трассы. Высокая чувствительность относительного интерференционного метода в то же время доставляет большие трудности при подготовительных работах, предъявляя жесткие требования к точности предварительной установки зеркал и их юстировке. Зеркала должны быть установлены так, чтобы оптические пути дистанционного и опорного пучков были равны с точностью порядка миллиметра; для этого приходится выполнять предварительные измерения инварными проволоками. Если указанная точность не выдержана, то чрезвычайно затрудняется поиск интерференционной картины прй работе интерферометра, т. е. точная настройка на условие (3.68).
Отметим, что для измерения расстояний в оптическом диапазоне, кроме рассмотренных выше приборов, могут быть применены дальномерные устройства других типов, несколько отличающиеся по своему принципу работы от традиционных светодальномеров и интерферометров. Однако они пока еще не получили широкого практического применения, и поэтому мы здесь ограничимся лишь упоминанием о них с указанием литературы, в которой можно почерпнуть более полные сведения. Это следующие устройства:
— светодальномеры с активным отражателем [13, 15, 19];
— лазерные дальномеры на межмодовых биениях [14, 20];
— светодальномеры с обратной связью через измеряемую дистанцию [14, 20];
— лазерные интерферометры с обратной связью [20].